본문 바로가기

All Contents179

2020 고려대학교 대학원 우수논문상 수상 2020. 8. 25.
10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구 과제명 : 10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구 과제명(영문) : Numerical simulation to overcome process limitations below 10nm semiconductor 과제기간 : 2015.06.01 - 2020.05.31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 본 연구는 10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구로 플라즈마 장비 및 공정 해석에 대한 예측력을 높이기 위한 멀티스케일 기법에 기반한 이론적 원천 연구들을 실공정의 실험 연구와 비교 검증하고 10nm급 반도체 플라즈마 공정의 물리적 한계 공정을 예측하고자 함. 특히 본 연구실에서는 SiO2/SiN 다층박막으로 이루어진 컨택홀 식각공정의 메커니즘을 규명하고. Continues .. 2020. 8. 25.
석사, 박사, 석박사통합과정 및 학부연구생 모집 공고 안녕하세요. 고려대학교 전자기계융합공학과 권광호 교수님의 플라즈마 응용 연구실입니다. 2020년도 및 2021년도 상, 하반기 석사, 박사, 석박사통합과정 및 학부연구생을 모집합니다. 저희 연구실은 반도체 공정 중 식각 part 를 중점적으로 연구하고 있으며, 플라즈마를 이용한 건식식각 공정, 이와 동시에 플라즈마 진단, 식각 메커니즘 규명을 주로 연구하고 있습니다. 이 외에도 플라즈마를 이용한 다양한 공정 (증착, 세정, 표면개질 등), 에너지 하베스팅, 센서 등의 다양한 분야를 연구하고 있습니다. 졸업 후, 현재까지 졸업생들은 대부분 삼성전자, SEMES, SK 하이닉스 등에 취업하여 근무하고 있으며, 반도체 공정 전공자로써 후배님들도 졸업 후 충분히 합격하실 수 있을 것입니다. 주기적으로 선배들과의.. 2020. 8. 25.
플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 (영문) : Development of plasma realtime process monitoring sensor and process simulation technolo 총 수행기간 : 2020. 04. 01 - 2022. 12. 31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발반도체 공정이 미세화 및 고직접화에 따라 고난이도 공정으로 들어서며 플라즈마 변수들을 제어의 중요성이 증가하고 있음. 이에 따라, 국내 기업들이 세계적 수준의 기술력을 확보하기 위해서는 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 비용과 시간이 많이 드는 proto-type의 실험 장치를 통해서가 아.. 2020. 8. 25.
초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술개발 과제명 : 초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술개발 과제명 (영문) : Development of Dry Cleaning Technology for Nanoscale Patterns 총 수행기간 : 2015. 09. 01 - 2020. 05. 31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 본 연구는 초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술 개발에 관한 연구로 Fluorocarbon, Cl2와 HBr 가스 플라즈마로 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘의 식각 공정 및 식각 후 오염된 표면의 변화를 AES, XPS, EDS 등의 측정을 통해 확인하는 연구임. 도출된 식각 재료 및 가스 종류에 따른 표면 분석데이터와 LP, OES 등을 통해 추출된 플라즈마 특성 데이터를 기반으로 플라즈마를 모델링.. 2020. 8. 25.
Plasma treatment Plamsma treatment is a surface modification technique that readily primes any surface for better acceptance of secondary manyfacturing applications. Plasma is a reactive treament prcess where positive and negative ions, electrons, and radicals react and collide as long as an electric potential difference exists. Plasma surface treatment is extremely versatile and used in a range of industries. I.. 2020. 8. 24.