R&D Project (2012년도 이후)/(2020-2022) 미래반도체소자 원천기술개발 - 플라즈마 실시간 ~1 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 (영문) : Development of plasma realtime process monitoring sensor and process simulation technolo 총 수행기간 : 2020. 04. 01 - 2022. 12. 31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발반도체 공정이 미세화 및 고직접화에 따라 고난이도 공정으로 들어서며 플라즈마 변수들을 제어의 중요성이 증가하고 있음. 이에 따라, 국내 기업들이 세계적 수준의 기술력을 확보하기 위해서는 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 비용과 시간이 많이 드는 proto-type의 실험 장치를 통해서가 아.. 2020. 8. 25. 이전 1 다음