R&D Project (2012년도 이후)8 차세대 반도체 극고종횡비 식각 공정 한계 극복 연구 과제명 :차세대 반도체 극고종횡비 식각 공정 한계 극복 연구 과제명(영문) : Reserch for overcoming process limitation of ultrahigh aspect ratio etching process 총 수행기간 : 2020.04.01.-2022.12.31. 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 본 연구는 차세대 UHARC 공정 및 장비 개발을 위해 플라즈마의 이온농도, 중성종 농도, 중성종 종류, 이온 에너지, 이온 충돌 효과 등에 대한 독립적인 제어를 할 수 있는 UHARC 식각 공정에 대한 원천기술에 대한 연구임. 2020. 8. 26. 10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구 과제명 : 10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구 과제명(영문) : Numerical simulation to overcome process limitations below 10nm semiconductor 과제기간 : 2015.06.01 - 2020.05.31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 본 연구는 10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구로 플라즈마 장비 및 공정 해석에 대한 예측력을 높이기 위한 멀티스케일 기법에 기반한 이론적 원천 연구들을 실공정의 실험 연구와 비교 검증하고 10nm급 반도체 플라즈마 공정의 물리적 한계 공정을 예측하고자 함. 특히 본 연구실에서는 SiO2/SiN 다층박막으로 이루어진 컨택홀 식각공정의 메커니즘을 규명하고. Continues .. 2020. 8. 25. 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 과제명 (영문) : Development of plasma realtime process monitoring sensor and process simulation technolo 총 수행기간 : 2020. 04. 01 - 2022. 12. 31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 플라즈마 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발반도체 공정이 미세화 및 고직접화에 따라 고난이도 공정으로 들어서며 플라즈마 변수들을 제어의 중요성이 증가하고 있음. 이에 따라, 국내 기업들이 세계적 수준의 기술력을 확보하기 위해서는 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 비용과 시간이 많이 드는 proto-type의 실험 장치를 통해서가 아.. 2020. 8. 25. 초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술개발 과제명 : 초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술개발 과제명 (영문) : Development of Dry Cleaning Technology for Nanoscale Patterns 총 수행기간 : 2015. 09. 01 - 2020. 05. 31 지원기관 : 한국산업기술평가관리원 연구내용 : 본 연구는 초미세 패턴 세정을 위한 건식 세정 기술 개발에 관한 연구로 Fluorocarbon, Cl2와 HBr 가스 플라즈마로 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘의 식각 공정 및 식각 후 오염된 표면의 변화를 AES, XPS, EDS 등의 측정을 통해 확인하는 연구임. 도출된 식각 재료 및 가스 종류에 따른 표면 분석데이터와 LP, OES 등을 통해 추출된 플라즈마 특성 데이터를 기반으로 플라즈마를 모델링.. 2020. 8. 25. 혼합 폐플라스틱 분리 선별 기술 개발 과제명 : 혼합 플라스틱 분리 선별 기술 개발 과제명 (영문) : Mixed plastic seperation sorting technology development 총 수행기간 : 2020. 06. 29 - 2021. 02. 28 지원기관 : 중소기업기술정보진흥원 연구내용 : 플라스틱은 산업 전반 및 실생활에 각종 소재의 원료로 적용되어 전 세계적으로 생산량이 급증하고 있으며, 이에 따라 폐플라스틱의 발생량도 크게 증가하고 있음. 그러나, 폐플라스틱의 재활용을 위한 회수율은 세계적으로 약 25% 수준에 머무르고 있으며, 나머지는 소각이나 매립 등의 방법으로 처리되고 있어, 환경오염 및 경제적 손실을 유발함. 플라스틱의 재활용을 위해서는 여러 종류의 혼합 폐플라스틱을 각각 분리하는 것이 필수적임. 이에 .. 2020. 8. 24. 생활계 폐용기의 재활용 기술개발 과제명 : 생활계 폐용기의 재활용 기술개발 과제명 (영문) : Development of recycling technology for domestic waste plastic 총 수행기간 : 2020. 07. 01 - 2021. 05. 31 지원기관 : 산업통상자원부 연구내용 : 플라스틱은 산업 전반 및 실생활에 각종 소재의 원료로 적용되어 전 세계적으로 생산량이 급증하고 있으며, 이에 따라 폐플라스틱의 발생량도 크게 증가하고 있음. 그러나, 폐플라스틱의 재활용을 위한 회수율은 세계적으로 약 25% 수준에 머무르고 있으며, 나머지는 소각이나 매립 등의 방법으로 처리되고 있어, 환경오염 및 경제적 손실을 유발함. 플라스틱의 재활용을 위해서는 여러 종류의 혼합 폐플라스틱을 각각 분리하는 것이 필수적임. 이에.. 2020. 8. 24. 이전 1 2 다음