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Nanoimprint lithography 2014. 9. 1.
Energy harvesting Triboelectric energy harvesting devices (TEHD) are a popular energy harvesting method that converts mechanical energy wasted in the environment into usable electrical energy. In the case of TEHD, studies on high dielectric constants and flexible polymer materials are mainly conducted is focused. In recent years, many studies have been conducted to improve durability and power in various environm.. 2014. 9. 1.
Plasma Etch mechanism and plasma modeling 2014. 9. 1.
plasma application laboratory 고려대학교 플라즈마 응용 연구실 Korea University Plasma Application Laboratory 본 연구실은 2005년 개설된 연구실이지만 매년 활발한 연구활동을 통하여 SCI논문 10여편 이상을 지속적으로 발표하고 있어 연구성과를 인정받고 있으며 기업 등과 연구개발 협력을 지속적으로 확대해가고 있는 연구실이다. 연구실에서 주로 다루고 있는 플라즈마 기술은 현재 반도체 산업 뿐만 아니라 광범위한 산업분야에 적용되고 있다. 이에 플라즈마 기초연구를 기반으로 한 응용연구는 그 뿌리가 되는 플라즈마에 대한 깊이 있는 연구를 통해서 다양한 산업분야의 발전에 기여하고, 나아가 인류산업 발전에 기여하고있다. 이에 따라 본 연구실은 플라즈마 기초연구와 응용연구를 병행하여 플라즈마 기술의 응용분야를.. 2014. 9. 1.
Professor Profile Education1978 - 1985 Bachelor’s Degree in Electrical Engineering, Korea University 1985 - 1987 M. S in Electrical Engineering, Korea University 1987 - 1993 Ph. D in Electrical Engineering (Electrical and Electronic Materials ) Ph. D. Thesis : “Characterization of Silicon Contamination and damage caused by reactive ion etching and its removal” Professor Career1987 – 1995 Senior Researcher, Electr.. 2014. 9. 1.