고려대학교 플라즈마 응용 연구실
Korea University Plasma Application Laboratory
본 연구실은 2005년 개설된 연구실이지만 매년 활발한 연구활동을 통하여 SCI논문 10여편 이상을 지속적으로 발표하고 있어 연구성과를 인정받고 있으며 기업 등과 연구개발 협력을 지속적으로 확대해가고 있는 연구실이다. 연구실에서 주로 다루고 있는 플라즈마 기술은 현재 반도체 산업 뿐만 아니라 광범위한 산업분야에 적용되고 있다. 이에 플라즈마 기초연구를 기반으로 한 응용연구는 그 뿌리가 되는 플라즈마에 대한 깊이 있는 연구를 통해서 다양한 산업분야의 발전에 기여하고, 나아가 인류산업 발전에 기여하고있다. 이에 따라 본 연구실은 플라즈마 기초연구와 응용연구를 병행하여 플라즈마 기술의 응용분야를 넓혀가고있다.
세부 연구 분야로는 반도체, 플라즈마, 식각, 플라즈마 처리, 플라즈마 진단, 플라즈마 모델링, 나노임프린트, 리쏘그래피, 인쇄 전자, 표면에너지 제어, TFT 디스플레이, 에너지 수확, 캔틸레버, 온도센서, 습도센서, 가스센서, 무선센서네트워크 등 유도결합 플라즈마를 이용한 다양한 연구를 진행 중에 있다.
TEL : +82-44-860-1787
FAX : +82-44-860-1587
E-mail : kwonkh@korea.ac.kr
Homepage : plasmalab.korea.ac.kr
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