All Contents179 유도결합형 BCl3_Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성 2014. 9. 2. Ar_Cl2 혼합가스를 이용한 Ba2Ti9O20(BTO) 박막의 유도결합 플라즈마 식각 2014. 9. 2. 플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO2 증착의 불균일성 원인 연구 2014. 9. 2. HBr_Ar_CHF3 혼합가스를 이용한 ZnO 박막의유도결합 플라즈마 식각 2014. 9. 2. 특허. Device for producing inductively coupled plasma and method thereof 2014. 9. 2. 특허. 플라즈마 발생 장치 및 방법 2014. 9. 2. 이전 1 ··· 26 27 28 29 30 다음
