Publication18 MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구 2014. 9. 2. 플렉서블 디스필레이의 적용을 위한 저온 실리콘 질화물 박막성장의 특성 연구 2014. 9. 2. SF6_Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구 2014. 9. 2. 나노임플란트 리소그래피 적용을 위한 CHF3 플라즈마를 이용한 실리콘 몰드 표면 처리 특성 2014. 9. 2. ICP Source를 이용한 저온 증착 a-SiNx H 특성 평가 2014. 9. 2. MEMS 공정을 이용한 마이크로 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 2014. 9. 2. 이전 1 2 3 다음