Publication/Patent4 등록 제 10-1827138호 2018. 5. 1. 등록 제 10-1827137호 2018. 5. 1. 특허. Device for producing inductively coupled plasma and method thereof 2014. 9. 2. 특허. 플라즈마 발생 장치 및 방법 2014. 9. 2. 이전 1 다음
