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Publication/Domestic Papers

플렉서블 디스플레이 적용을 위한 저온 실리콘 질화막의 N2 플라즈마 처리 영향

by 플라즈마응용연구실 2014. 9. 2.

 

D12 플렉서블 디스플레이 적용을 위한 저온 실리콘 질화막의 N2 플라즈마 처리 영향.pdf