D10 MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구.pdf'Publication > Domestic Papers' 카테고리의 다른 글
| 플렉서블 디스플레이 적용을 위한 저온 실리콘 질화막의 N2 플라즈마 처리 영향 (0) | 2014.09.02 |
|---|---|
| O2_Ar 플라즈마를 이용한 구리호일 표면 개질에 관한 연구 (0) | 2014.09.02 |
| 플렉서블 디스필레이의 적용을 위한 저온 실리콘 질화물 박막성장의 특성 연구 (0) | 2014.09.02 |
| SF6_Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구 (0) | 2014.09.02 |
| 나노임플란트 리소그래피 적용을 위한 CHF3 플라즈마를 이용한 실리콘 몰드 표면 처리 특성 (0) | 2014.09.02 |